半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備有哪些?
發(fā)布日期:2021-03-05
半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備有哪些?
一顆小小集成ic,從設(shè)計(jì)方案到生產(chǎn)制造,依照全產(chǎn)業(yè)鏈階段區(qū)劃,能夠分成 IC 設(shè)計(jì)方案、原材料、晶圓代工、機(jī)器設(shè)備、封裝測試五個(gè)行業(yè)。 關(guān)鍵有:
單晶爐:熔化半導(dǎo)體原材料,拉單晶,為事后半導(dǎo)體元器件生產(chǎn)制造,出示單晶體的半導(dǎo)體晶坯。
氣相外延性爐:為氣相外延性生長發(fā)育出示特殊的加工工藝自然環(huán)境,完成在單晶上,生長發(fā)育與單晶晶相具備對應(yīng)關(guān)系的層析結(jié)晶,為單晶沉下去完成作用變作基本提前準(zhǔn)備。氣相外延性即有機(jī)化學(xué)氣相堆積的一種獨(dú)特加工工藝,其生長發(fā)育層析的分子結(jié)構(gòu)是單晶襯底的持續(xù),并且與襯底的晶向維持相匹配的關(guān)聯(lián)。
空氣氧化爐:為半導(dǎo)體原材料開展空氣氧化解決,出示規(guī)定的空氣氧化氣氛,完成半導(dǎo)體預(yù)估設(shè)計(jì)方案的空氣氧化處理方式,是半導(dǎo)體生產(chǎn)過程的不能缺乏的一個(gè)階段。
磁控濺射臺:根據(jù)二極磁控濺射中一個(gè)平行面于靶表面的封閉式電磁場,和靶表面上產(chǎn)生的正交和磁場,把二次電子拘束在靶表面特殊地區(qū),完成高離子相對密度和高效率能量的水解,把靶分子或分子結(jié)構(gòu)高速傳輸磁控濺射堆積在襯底上產(chǎn)生塑料薄膜。
光刻技術(shù):在半導(dǎo)體板材上(硅片)表面勻膠,將掩免費(fèi)模板上的圖型遷移光刻技術(shù)上,把元器件或電源電路構(gòu)造臨時(shí)性“拷貝”到硅片上。
反映離子離子注入系統(tǒng)軟件:平板電腦電級間釋放高頻率工作電壓,造成百余μm厚的離子層,放進(jìn)款式,離子髙速碰撞款式,完成化學(xué)變化離子注入和物理學(xué)碰撞,完成半導(dǎo)體的生產(chǎn)加工成形。
離子引入機(jī):對半導(dǎo)體表面周邊地區(qū)開展夾雜。
探針測試臺:根據(jù)探頭與半導(dǎo)體元器件的pad觸碰,開展電力學(xué)檢測,檢驗(yàn)半導(dǎo)體的性能參數(shù)是不是合乎設(shè)計(jì)方案特性規(guī)定。
圓晶劃片機(jī):把圓晶,切成小塊的Die。
等等......
昆山康達(dá)斯機(jī)械設(shè)備有限公司是一家為生產(chǎn)制造半導(dǎo)體設(shè)備,視覺檢測設(shè)備,勻膠顯影機(jī),半導(dǎo)體檢測設(shè)備,自動曝光機(jī),晶圓裂片機(jī),晶圓甩干機(jī)等產(chǎn)品的高新技術(shù)企業(yè),且可以提供智能制造系統(tǒng)的規(guī)劃設(shè)計(jì)、系統(tǒng)集成、軟件開發(fā)、設(shè)備定制、電控系統(tǒng)開發(fā)、現(xiàn)場安裝調(diào)試、客戶培訓(xùn)和售后服務(wù)等一系列業(yè)務(wù)。系統(tǒng)方案廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、汽車零部件、電子、醫(yī)療器械等行業(yè)。