晶圓甩干機(jī)使用流程有哪些
發(fā)布日期：2021-01-19
晶圓甩干機(jī)使用流程有哪些
1 上晶圓。
2 DIY水 清洗。或清水
3 N2氣體旋轉(zhuǎn)吹干。
4 自動(dòng)滴膠。滴定量需要設(shè)定
5勻膠
6 烘干片子。
7 刻蝕顯影。
8 DIY 水 去膠。或清水
9 N2氣體旋轉(zhuǎn)吹干。
機(jī)器根據(jù)這兩臺(tái)機(jī)器修改。
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